(相关资料图)
这个专利公开号为CN116266536A，涉及的专利名称为“晶体管的制备方法和晶体管”，用于制备芯片基础单元晶体管的。
专利摘要显示，本申请晶体管的制备方法，利用在蚀刻层间介质层进行开设槽型孔的过程中一并蚀刻去除所述虚拟栅极，并利用槽型孔形成金属栅极。
相比现有高介电常数金属栅极制备工艺，可节省工艺步骤，降低工艺成本。
具体方法包括提供半导体衬底；在半导体衬底上依次层叠形成氧化物介质层、高K介质层、虚拟栅极；在半导体衬底中开设凹槽，并在凹槽中形成源极和漏极；
形成覆盖半导体衬底和虚拟栅极的层间介质层；在层间介质层中形成分别对准源极和漏极的通孔和对准虚拟栅极的槽型孔，在形成槽型孔的过程中去除虚拟栅极；
在槽型孔和通孔中形成导电金属材料。本申请还提供应用该方法制得的晶体管。
标签：
仓储物流“成渝圈”如何乘势而上？ 12月3日，连接昆明和万象的中老铁路全线开通运营，被惠及的显...
两件西周青铜簋时隔三千年成功配对 考古工作者介绍，这个铜簋的盖、身分别时隔40余年出土，纹饰...
“医保砍价”不是一个人在战斗 晁星 “我眼泪都快掉下来了”“每一个小群体都不该被放弃”…...
“购物成瘾”真的是一种病 刘艳 牛雅娟 本周日即将迎来“双十二”促销季，很多人又开始摩拳...
因迷恋山间风景，一男子在甘孜州稻城县海拔4000多米的无人区迷失方向，随后与同伴失联。12月的稻城...
嫌疑人DNA信息比中后，成都市公安局刑侦支队技术处DNA实验室民警白小刚一下坐在凳子上，恍惚迟疑间...
一批反映南京大屠杀历史的新书发布 新华社南京12月7日电(记者邱冰清、蒋芳)“以史为鉴，开创未来...
我在现场·照片背后的故事｜电影《亲爱的》里面没有的结局，在我眼前“上映” 12月6日，在深圳市...
冥想？泡脚？不如听听助眠音乐 晚上睡不着，白天睡不醒，成为最贴合都市人群的“睡眠画像”。随...
养老话题 老年教育面临缺口 “终身教育”潜力无限 【现实挑战】“新老年”群体愿意在培养兴...
孙海洋被拐14年儿子如何找到的？ 警方侦办另一宗拐骗儿童案时发现线索，通过人像比对、DNA确认找...
北京天文馆、圆明园将对未成年人免费开放 12月6日，北京天文馆发布通知称，12月8日起试行对未成...
今年全国粮食总产量再创新高 连续7年保持在1 3万亿斤以上 根据对全国31个省(区、市)的抽样调...
斑块软的很危险 硬的就无碍？ 血管里的“垃圾”分类 赶快学起来！ 一项最新研究显示：中国...
诺西那生钠注射液大幅降价 聚焦医保谈判背后脊髓性肌萎缩症家庭 医保目录公布那天 好多家长都...
抖音“窗花剪剪”遭抄袭 被判获赔20万元 法院认为“窗花剪剪”的这种表达方式理应受到《著作权...
公安机关近日侦破3起拐卖儿童案件 失散十几年 3组家庭终于团圆了 北京青年报记者12月6日从公...
2021年度十大网络用语发布 本报讯(记者 路艳霞)作为年度“汉语盘点”活动最具网络特色的组成部...
北京天文馆向未成年人免费开放 本报讯(记者 牛伟坤)北京天文馆对票价免费及优惠政策作出调整：1...
2021北京百个网红打卡地发布 本报讯(记者 李洋)2021北京网红打卡地推荐榜单昨晚正式发布。自然...
